ジルコニアセラミック製ロボットアームと半導体ウェーハ処理装置製品紹介:
1.製品特性
•材料性能:高強度(圧縮強度2000 mpa以上)、高硬度(モース硬度8.5)、高耐熱性(最高使用温度1600℃)、優れた耐摩耗性を有する高純度ジルコニアセラミック材料を使用しています。
•精密加工:冷間静水圧プレス、高温焼結、精密加工により、寸法精度は±0.001mmに達し、表面仕上げはra 0.1に達します。
•化学的安定性:酸性、アルカリ性、有機溶媒環境で安定性を示し、化学反応を起こしにくく、半導体部品を汚染しません。
使う领域
•半導体製造におけるウェーハ処理。
•高温環境下での機械部品。
•人型ロボットの関節パーツ。
•放射線遮蔽材料。
半導体ウェーハ搬送装置
1.真空ロボの腕:
Pa・労働環境:10⁻⁵真空…
•対象機器:フォトリソグラフィ装置、エッチング装置など
•技術的特徴:直接駆動モータを使用し、潤滑油の汚染を回避します。
2.大気のロボの腕
•清潔度:1 ~ 10級。
•シェア:60%を占める。
•技術的特徴:密閉構造設計を採用。
3.核心技術:
•厳选素材:95%-99%品位アルミナ陶器(室温抵抗率10¹⁵Ω・cm)または炭化シリコン陶器(490熱伝導率W / m・K)。
・位置決め精度:繰返し可能な位置決め精度±0.05 mm、水平振動0.2g。
•清浄度技術:iso規格のクリーンルーム分類で最高レベルの清浄度(クラス1)を達成。
Supports custom specifications.
ご意見やご質問がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
